新竹教授が、EUVリソグラフィの設計を検討している様子
新竹教授は、光学シミュレーションシステム「OpTaliX」を用いて、EUVリソグラフィ光学システムの設計において、ミラーの正確な曲率と配置を算出している。
日付:
2026年6月16日
出典:
アンドリュー・スコット（OIST）
Copyright OIST (Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University, 沖縄科学技術大学院大学). Creative Commons Attribution 4.0 International License (CC BY 4.0).
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