ライトファブ 3Dプリンター
特徴
・レーザー|変調器付きフェムト秒レーザー(Amplitude Systems社製Satsuma)
波長|1030 nm(515nmは2倍)|ビーム品質|1.3|出力|4 W|繰り返し周波数|100kHz~10 MHz|パルス幅|400fs~5 ps|パルスエネルギー|4μJ
・3Dマイクロスキャナー マイクロスキャナー(XYガルバノメーター)とピエゾフォーカシングモジュールの組み合わせ
スキャン範囲|350 × 350 μm2|700 × 700 μm2|移動範囲|z|300 μm|300 μm|分解能|XYZ|11 nm|22 nm|繰り返し精度|XYZ|25 nm|50 nm|書き込み速度|xy|80 mm/s|160 mm/s|位置決め速度|300 mm/s|600 mm/s