3D フォトリソグラフィシステム

Nanoscribe Photonic Professional GT は、二光子重合法（2PP）を利用した高精度 3D プリンティングシステムで、卓越した解像度により複雑なマイクロ・ナノスケール構造を造形可能です。 結晶格子、多孔質足場、生体模伣デザイン、滑らかな輪郭、シャープなエッジ、アンダーカット、ブリッジなどの複雑な形状を造形でき、フォトニクス、マイクロ流体工学、生体医工学、材料科学など幅広い分閇で活用されています。 このシステムは、 2 つの動作モードを備えた超高速ガルボスキャナーベースのスキャンヘッド（「GT ユニット」）を特徴としています。 ピエゾモードでは、 3 軸ピエゾステージによる精密な 3 次元基板移動が可能であり、ガルボモードでは高速なレイヤーごとの造形を実現します。 IP フォトレジストシリーズ、SU8 、Ormocomp 、AZ9260 などの感光性材料に対応し、STL ファイルのインポートをサポートします。 油浸対物レンズを使用したディップイン・レーザー・リソグラフィー（DiLL）により、最大 200 μm （設計によっては 1 ミリメートルまで拡張可能）の高さの構造を造形可能です。