ライトファブ 3Dプリンター

二光子重合による 3Dプリンティング、マスクレスリソグラフィー、溶融シリカ内での MEMS 部品およびマイクロ流体デバイスの高精度製造。

ENG-N22 lightfab

LightFab 3D プリンターは、 40% KOH 溶液を用いた選択的レーザーエッチング( SLE )を含む高度なサブトラクティブ 3Dプリンティングプロセスや、導波路書き込み、 2光子重合( 515 nm )、裏面アブレーション、クラックフリーマーキングなどの 3Dレーザー描画用途に対応した精密機器です。
本システムは、マイクロ流体工学、マイクロメカニクス、集積光学、その他高精度が求められる分野における複雑な 3Dガラス部品の製造に最適化されています。
モードロックされたクラス IVフェムト秒レーザー(1030 nm)、高分解能モーションコントロールを備えた 3軸ステージ、ピエゾ集光モジュールとサブ μm のフィーチャーサイズに対応する顕微鏡光学系を搭載した 3Dマイクロスキャナーを備えています。
達成可能な最小フィーチャーサイズは約1 μm(SLEなし)、SLEありでは 10 μmです。
プリンターには自動操作を可能にする CAD/CAMソフトウェアが含まれ、安定した性能を実現するために振動隔離構造を備えた取り外し可能なレーザー安全ケーシングに収納されています。

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特徴

・レーザー|変調器付きフェムト秒レーザー(Amplitude Systems社製Satsuma)
  波長|1030 nm(515nmは2倍)|ビーム品質|1.3|出力|4 W|繰り返し周波数|100kHz~10 MHz|パルス幅|400fs~5 ps|パルスエネルギー|4μJ
・3Dマイクロスキャナー マイクロスキャナー(XYガルバノメーター)とピエゾフォーカシングモジュールの組み合わせ
  スキャン範囲|350 × 350 μm2|700 × 700 μm2|移動範囲|z|300 μm|300 μm|分解能|XYZ|11 nm|22 nm|繰り返し精度|XYZ|25 nm|50 nm|書き込み速度|xy|80 mm/s|160 mm/s|位置決め速度|300 mm/s|600 mm/s