FIB-SEM デュアルビーム

FIB-SEM デュアルビームシステムは、集束イオンビーム (FIB) と走査型電子顔微鏡 (SEM) の技術を組み合わせ、高分解能イメージングとナノメートルスケールの材料加工を実現します。 この多用途な装置は、バルク材料から極めて精密に複雑な構造を加工し、STEM、３Dアトムプローブ、その他の技術を用いた高度な化学・構造解析を可能にします。 また、配向イメージングや３Dトモグラフィーを単独でサポートし、壊れやすい材料、脆性材料、柔軟な材料など、他の方法ではアクセスが困難な領域のサンプリングに優れています。 さらに、このシステムは、化学的、電子的、機械的試験に適したサンプルの加工にも対応しており、研究開発環境におけるナノスケール材料の特性評価や試料作製に欠かせない存在です。 このシステムにより、高解像度のイメージングとナノメートルスケールの精密な材料改質の両方が可能になります。 FIB-SEM デュアルビーム STEMや３Dアトムプローブなどによる化学的・構造的評価のために、バルク材料から複雑な形状を正確な位置に切り出すために使用されます。