電気特性評価プローブステーション

Summit 12000B-APは、Velox™ソフトウェアを搭載した電気特性評価用プローブステーションです。PureLine、AutoGuard、MicroChamber®により、1/fノイズ評価を含む低ノイズ測定に対応します。温度補正と自動XYZ／θ補正を備えた高精度4軸セミオートステージ、および手動3軸ステージを搭載し、正確で扱いやすいウェーハ位置決めを実現します。VueTrack™による多温度無人測定、eVue™による視認性の高いウェーハ／ダイナビゲーション、各種アナライザや測定ソフトウェアとの連携機能を備え、RF／マイクロ波デバイス評価、WLR、FA、設計デバッグなどに適しています。