電気特性評価プローブステーション
特徴
・Keithley 4200-SCS、4200 SMU、4200-PAと組み合わせた高精度な電気特性評価が可能
・PureLine、AutoGuard、MicroChamber®により低ノイズ測定と 1/fノイズ評価に対応
・温度補正と自動XYZ/θ補正を備えた4軸セミオートステージを搭載
・手動3軸ステージにより迅速で直感的なウェーハ操作が可能
・VueTrack™とHTS強化により多温度での無人測定を支援
・eVue™デジタルイメージングによりダイ内/ウェーハ内ナビゲーションを強化
・アナライザおよび測定ソフトウェアとのシームレスな統合に対応