X線分析顕微鏡
特徴
検出可能な元素範囲:NaからUまで
XGT-7200 仕様
元素:Na~U
X線管:Rhターゲット / 管電圧 50 kV / 管電流1 mA
蛍光X線検出器:ペルチェ冷却型シリコンドリフト検出器(SDD)
透過X線検出器:Nai(Tl) scintilltor
X線ガイド管:モノキャピラリー10μm / 100μm、フィルターなし
光学像:試料の全面光学像および同軸拡大像
試料ステージサイズ:XY:100mm×100 mm
試料室:真空チャンバー型 / 真空中最大300mm×300mm×80 mm
信号処理:デジタルパルスプロセッサー(INCAユニット)
定性分析:自動同定 / KLMマーカー / ピークサーチ / スペクトルの比較
定量分析:非標準 FPM / 標準 FPM / 標準ファイルマッチング FPM / 校正曲線 / 多層 FPM(シックネスゲージ)/ 多点分析(Max5000)/ 多点分析結果の Excel 送信 / XGT-5000 スペクトル表示
マッピング機能:透過x線画像 / 元素画像 / スペクトルマッピング / 矩形マッピング / スペクトル生成 / RGB合成 / スケールメーカー / ライン解析
直径10 μmから100 μmまでの2本のソフトウェア制御x線ガイド管を搭載し、微細測定から大規模測定まで正確に最適化できます。