X線分析顕微鏡

X線分析顕微鏡 XGT-7200は、微小スケールでの精密な元素および組成分析のために設計された高性能蛍光x線分析顕微鏡です。

ENG-N018 Horiba XRF

元素分析蛍光x線分析システムは、光学観察と高度な元素分析機能を融合し、微量分析用途において信頼性の高いソリューションを提供します。直径10 μmから100 μmまでの2本のソフトウェア制御x線ガイド管を搭載し、微細測定から大規模測定まで正確に最適化できます。デュアル真空モードにより、高感度分析を実現する完全真空モードと、ナトリウム(Na)からウラン(U)までの元素を検出しながらサンプルを大気圧下に維持する局所真空モードを迅速に切り替えることが可能です。高解像度光学カメラは分析エリアの精密な位置決めを可能にし、幅広いサンプルタイプに対して信頼性の高い結果を提供します。このシステムは、材料科学、地球化学、環境分析、研究所での品質管理などの用途に最適です。光学観察機能と元素分析機能のシームレスな融合を実現し、マイクロ分析の世界に革命をもたらし、マイクロXRFを研究・分析科学者の日常的なツールとして確立しました。

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特徴

検出可能な元素範囲:NaからUまで

XGT-7200 仕様

元素:Na~U
X線管:Rhターゲット / 管電圧 50 kV / 管電流1 mA
蛍光X線検出器:ペルチェ冷却型シリコンドリフト検出器(SDD)
透過X線検出器:Nai(Tl) scintilltor
X線ガイド管:モノキャピラリー10μm / 100μm、フィルターなし
光学像:試料の全面光学像および同軸拡大像
試料ステージサイズ:XY:100mm×100 mm
試料室:真空チャンバー型 / 真空中最大300mm×300mm×80 mm
信号処理:デジタルパルスプロセッサー(INCAユニット)
定性分析:自動同定 / KLMマーカー / ピークサーチ / スペクトルの比較
定量分析:非標準 FPM / 標準 FPM / 標準ファイルマッチング FPM / 校正曲線 / 多層 FPM(シックネスゲージ)/ 多点分析(Max5000)/ 多点分析結果の Excel 送信 / XGT-5000 スペクトル表示
マッピング機能:透過x線画像 / 元素画像 / スペクトルマッピング / 矩形マッピング / スペクトル生成 / RGB合成 / スケールメーカー / ライン解析

直径10 μmから100 μmまでの2本のソフトウェア制御x線ガイド管を搭載し、微細測定から大規模測定まで正確に最適化できます。