シリコン陰極の合成に用いたクラスタービーム堆積技術の概略図

2017-09-06

銅フレーム(右側にあるオレンジ色の層)上から始め、シリコン(上部)とナノ構造のタンタル金属(下部)を交互に制御しながら堆積させ構築した陰極。

提供: 
ナノ粒子技術研究ユニット

高解像度イメージをダウンロード