シリコン陰極の合成に用いたクラスタービーム堆積技術の概略図

銅フレーム(右側にあるオレンジ色の層)上から始め、シリコン(上部)とナノ構造のタンタル金属(下部)を交互に制御しながら堆積させ構築した陰極。

銅フレーム(右側にあるオレンジ色の層)上から始め、シリコン(上部)とナノ構造のタンタル金属(下部)を交互に制御しながら堆積させ構築した陰極。

日付:
2017年9月6日
出典:
ナノ粒子技術研究ユニット
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