ナノ粒子とシリコンアノードの制作

第1チャンバーでは、タンタル金属から作られたナノ粒子が生成されている。このチャンバー内では、個々のタンタル原子が雨粒を形成するようにまとまる。第2チャンバー2では、ナノ粒子を大量にろ過し、大きすぎたり小さすぎたりするものを取り除く。第3チャンバーでは、ナノ粒子の層が堆積される。次に、この層に孤立したシリコン原子を「吹き付け」、シリコン層を形成する。このプロセスを繰り返すことで、多層構造体が形成される。
第1チャンバーでは、タンタル金属から作られたナノ粒子が生成されている。このチャンバー内では、個々のタンタル原子が雨粒を形成するようにまとまる。第2チャンバー2では、ナノ粒子を大量にろ過し、大きすぎたり小さすぎたりするものを取り除く。第3チャンバーでは、ナノ粒子の層が堆積される。次に、この層に孤立したシリコン原子を「吹き付け」、シリコン層を形成する。このプロセスを繰り返すことで、多層構造体が形成される。
日付:
2021年2月3日
出典:
パベル・プーチェンコフ (OIST科学計算及びデータ解析セクション)
Copyright OIST (Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University, 沖縄科学技術大学院大学). Creative Commons Attribution 4.0 International License (CC BY 4.0).