電子ビームリソグラフィ 装置

エリオニクス Boden 100 は、ナノスケールの形状を直接描画するために最適化された高精度電子ビームリソグラフィシステムです。サーマルフィールドエミッター電子銃を搭載し、安定した電子ビームを提供することで、卓越した解像度と精度で複雑なパターンを作成できます。このシステムは、レジストでコーティングされた基板上を電子ビームで制御しながら走査することで、高いパターン忠実度、正確なアライメント、設計の柔軟性を必要とするアプリケーションに対応したマスクレスリソグラフィを実現します。様々なタイプやサイズの基板に対応しており、ナノフォトニクス、量子デバイス、ナノエレクトロニクス、材料科学の先端研究を支援します。外部 PC 上で動作する BEAMER および TRACER ソフトウェアを使用することで、露光前に複雑なレイアウト設計やデータ変換が可能です。システムには、完全密閉型の試料エリア、電子ビーム収容カラム、および 3 つのユニットからなる制御ハードウェアラックが含まれています。