新型High-NA(高開口数)リソグラフィーが、先端半導体チップに革命をもたらす可能性
データセンターの電力削減や次世代モバイル機器に革新をもたらす可能性を秘めた先端半導向け露光装置の光学系を、数値シュミュレーションを駆使して高精度で設計。高密度、高性能、低消費電力のチップのより安価な生産に道筋
2026年6月16日