原子間力顕微鏡 (AFM) (SPM)

高分解能の表面観察とナノスケール材料解析に適した原子間力顕微鏡（AFM）。

ENG-N008 AFM Bruker Icon 3

Bruker Dimension Icon 3 は、高分解能の表面観察とナノ構造解析に適した原子間力顕微鏡（AFM）です。温度補償型位置センサーにより、Z軸ではサブオングストロームレベル、X-Y平面ではオングストロームレベルの位置精度を実現します。90 μmクラスのスキャン範囲に対応し、大型試料の高精細イメージングにも適しています。XYZクローズドループヘッド設計により、画像忠実度を保ちながらスキャン速度を高め、材料科学、生体分子観察、半導体研究などで効率的なデータ取得を可能にします。

利用申請・トレーニング

機器No.:

ENG-N008

メーカー:

Bruker

モデル:

Icon 3

導入年:

2017

カテゴリー

特性評価装置走査型プローブ顕微鏡

セクション

部屋番号:

L3A744a

外部貸出:

要問合せ

操作:

ユーザー/スタッフ操作

シェア：

特徴

・X-Yスキャン範囲：90 μm × 90 μm（代表値）、最小85 μm

・Zレンジ：10 μm（代表値、イメージング／フォースカーブ時）、最小9.5 μm

・垂直ノイズフロア：30 pm RMS未満（適切な環境下）

・イメージング帯域幅：最大625 Hz

・X-Y位置ノイズ（クローズドループ）：0.10～0.15 nm RMS（代表値）

・Zセンサノイズ（クローズドループ）：35～50 pm RMS（代表値）

・試料ホルダー：210 mm真空チャック、試料径210 mm以下、厚、5 mm以下

・自動位置決めステージ：180 mm × 150 mm、繰返し精度2 μm（一方向）／3 μm（双方向）

・顧微鏡光学系：500万画素デジタルカメラ、視野180～1465 μm

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