機材

Primaxx HF Vapor エッチング装置は、MEMS製造プロセスにおいて不可欠な犠牲層である二酸化ケイ素（SiO₂）を高精度かつ選択的に除去します。

フッ化水素酸専用のドラフトチェンバーは、フッ化水素酸の取り扱いや処理中の安全な封じ込めと換気を確実にします。

プラズマラボ100は、シリコン系材料の精密なエッチングおよび化学気相成長に特化して設計された諸導結合プラズマ（ICP）システムです。

酸専用に設計されたドラフトチェンバーは、酸性物質の取り扱いや処理中の安全な封じ込めと換気を確保します。

サムコ　RIE-400iPBは、Boschプロセスを用いた深堀りシリコンエッチングに特化したドライエッチング装置です。高いアスペクト比を実現します。優れた選択性を備えています。