機材

Savannahシステムは、逐次的な自己制限型化学反応を利用して、精密なナノスケール薄膜を成膜するために設計された熱原子層堆積（ALD）装置です。

プラズマラボ100は、シリコン系材料の精密なエッチングおよび化学気相成長に特化して設計された諸導結合プラズマ（ICP）システムです。

カワサキ サイエンス製の電子ビーム蒸着装置は、金属、合金、特殊材料の薄膜を高精度に成膜するために設計された真空型システムです。

Plassys Bestek製の電子ビーム蒸着装置は、金属および合金の薄膜を高精度で蒸着するために設計された高真空システムで、柔軟な構成オプションを備えています。