薄膜測定用反射率計

薄膜測定用反射率計は、精密な光学測定のために設計されたコンパクトな幌上型ユニットで、システム操作用の制御用ラップトップ PC を搭載しています。 光ファイバーヘッドとウェハー分析に特化した試料設置台を備えています。 Ocean Optics 社製分光器ボックスと統合された本システムは、広いスペクトル範囲での測定を可能とし、様々な材料特性や層構成の詳細な評価を実現します。 標準サンプルを基準にすることで、単層および多層構造の分析が可能であり、薄膜解析、材料科学、半導体研究に適した装置です。 小型ユニット、テーブルトップ、制御ラップトップ PC 、光ファイバーヘッド、ウェハー用サンプルマウント付き。 幅広いスペクトル範囲での測定に対応し、様々な材料タイプや層構成に対応。