レーザーカッター

半導体、金属薄膜、光学材料の精密加工が可能。フラットパネルディスプレイや先端電子デバイスへの応用に対応。

ENG-N012 HOYA Laser

HOYAレーザーカッターシステムENG-N012は、高精度な微細加工に特化したナノ秒パルスレーザー加工装置です。波長1064 nm(IR)、532 nm(Green)、355 nm(UV)、266 nm(DUV)の選択可能なパルスレーザー光源を搭載し、多様な材料加工に対応します。TFTパネルの溶接・配線、フラットパネルディスプレイのカラーフィルター加工、集積回路の保護膜除去などの用途に適しています。集光されたレーザーバルスにより、幅10〜20μmのリニアカットが可能で、繰り返し周波数は最大50Hzです。25mmの移動範囲を持つThorlabs XYZステージを装備しており、レーザー照射中の移動経路をプログラム可能で、Thorlabsソフトウェアによる正確なカットのカスタマイズが可能です。金属、半導体材料、ポリマーに対応し、複雑な材料加工を必要とする研究用途や産業用途に最適なレーザーカッターです。

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特徴

  • 空冷式Nd:YAGナノ秒パルスレーザー光源
  • 切断波長:266 / 532 / 1064 nm
  • レーザー集光スポット径:約10 μm以上
  • 50倍UV対応長作動距離対物レンズ
  • 最大繰り返し周波数:50 Hz(バーストモード)
  • 連続動作時繰り返し周波数:1 Hz
  • CCDカメラによるその場観察
  • 白色光源による視野内観察
  • 手動位置決め、回転制御、電動XYZステージを搭載
  • Thorlabsステージ移動量:25 mm(0.98インチ)