X線光電子分光法

Ulvac PHI Quantesは、高精度な表面分析を目的として設計されたX線光電子分光（XPS）装置です。試料表面の数nm深さから放出される光電子のエネルギーを検出し、元素組成や化学状態を評価します。Al KαおよびCr Kαのデュアル単色X線源を搭載し、7.5～200 μmの領域に対して高分解能分析が可能です。深さ方向プロファイリング、化学マッピング、小領域・大領域の分析に対応し、自動荷電中和、モノマー／クラスタArイオン銃の切り替え、移送容器、加熱・冷却機構、自動長時間測定などの機能を備えています。