x線光電子分光法

AXIS Ultra DLDは、試料分析室（SAC）内での試料操作を自動化し、精密な分光分析とイメージング分析を行えるX線光電子分光（XPS）システムです。単色X線源（Al Kα）および従来型X線源（Al Kα、Mg Kα）を搭載し、700 μm × 300 μmから直径15 μm未満までの測定領域に対応します。低エネルギー電子ビーム中和器、Arイオン銃、加熱・冷却機構などを備え、柔軟な試料前処理が可能です。

磁気浸漬レンズ、球面ミラーアナライザー、同心円形分析器が内蔵され、高分解能X線スペクトル取得と化学状態のリアルタイムイメージングを実現します。ディレイライン検出器（DLD）により、数秒でのスペクトル取得や小スポットイメージングが可能で、横方向の化学種分布に関する洞察が得られます。移送容器により、大気暴露させずに試料分析が可能で、昼夜連続の自動長時間測定にも対応します。