機材

FEI Quantaは、高分解能イメージングおよび材料の詳細な表面分析を目的として設計されたショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（FEG-SEM）です。

酸専用に設計されたドラフトチェンバーは、酸性物質の取り扱いや処理中の安全な封じ込めと換気を確保します。

エリオニクス Boden 100 は、ナノ構造の作製および研究用途に適した、高精度かつ高解像度のパターニングが可能な最先端の電子ビームリソグラフィシステムです。

カワサキ サイエンス製の電子ビーム蒸着装置は、金属、合金、特殊材料の薄膜を高精度に成膜するために設計された真空型システムです。

Plassys Bestek製の電子ビーム蒸着装置は、金属および合金の薄膜を高精度で蒸着するために設計された高真空システムで、柔軟な構成オプションを備えています。

サムコ　RIE-400iPBは、Boschプロセスを用いた深堀りシリコンエッチングに特化したドライエッチング装置です。高いアスペクト比を実現します。優れた選択性を備えています。