シリコン膜の堆積段階と機械的強度

2021-02-03

第一段階では、シリコン膜は硬くてもぐらつきのある柱状構造となる。第二段階では、柱同士が上部で接触してアーチ状の構造を形成し、アーチ作用により強い構造となる。第三段階では、シリコン原子がさらに堆積することにより、スポンジ状の構造になる。赤色の破線部分は、力が加わることによってシリコンが変形する様子を表している。

Credit: 
パナジオティス・グラマティコプロス博士(元OISTナノ粒子技術研究ユニットおよびチ ュ ー リ ッ ヒ 工 科 大 学Particle Technology Laboratory)

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